DIN ISO 3567:2015 pdf free download.Vacuum gauges—Calibration by direct comparison with a reference gauge (ISO 3567:2011). 5 Messprinzip Das zu kalibrierende Vakuummessgerät UUC und das Bezugsnormal sind an die gleiche Kalibrierkammer angeflanscht. Bei der Kalibrierung eines UUC durch Vergleich mit einem Bezugsnormal wird der Eingangsflansch des UUC und des Bezugsnormals der gleichen Gasdichte und der gleichen Geschwindigkeitsverteilung der Gasteilchen ausgesetzt....
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