DIN ISO 3567:2015 pdf free download.Vacuum gauges—Calibration by direct comparison with a reference gauge (ISO 3567:2011).
5 Messprinzip
Das zu kalibrierende Vakuummessgerät UUC und das Bezugsnormal sind an die gleiche Kalibrierkammer angeflanscht.
Bei der Kalibrierung eines UUC durch Vergleich mit einem Bezugsnormal wird der Eingangsflansch des UUC und des Bezugsnormals der gleichen Gasdichte und der gleichen Geschwindigkeitsverteilung der Gasteilchen ausgesetzt. Gleichheit von Gasdichte und Geschwindigkeitsverteilung bedeutet, dass auch der Druck an den zwei Orten gleich ist, jedoch ist der umgekehrte Schiuss nicht immer richtig. Viele Vakuummeter messen nicht den Druck sondern stattdessen z. B. die Gasdichte oder die Auftreffrate von Gasteilchen, weswegen die obige Bedingung der Gleichheit von Gasdichte und Geschwindigkeitsverteilung sowohi notwendig ist als auch wesentlich präziser als nur Gleichheit der Drücke zu fordern.
Die Gasdichte (der Druck) in der Kalibrierkammer kann variiert werden und so die jeweiligen Anzeigen von Bezugsnormal und UUC verglichen werden.
Von diesem Messprinzip werden die folgenden Forderungen für die Konstruktion und den Aufbau des Vakuumsystems abgeleitet.
6 Anforderungen
6.1 Konstruktion der Kalibrierkammer
Die Kalibrierkammer muss so konstruiert sein, das die Gasdichte im Messvolumen hinreichend homogen und zeitlich stabil ist.
Dies bedeutet im Detail, dass die Kalibrierkammer gemaB den untenstehenden Punkten konstruiert und betrieben werden muss. Die Merkmale a) bis e) dürfen unberücksichtigt bleiben, wenn die kleinsten Kalibrierdrücke, die in der Kalibrierkammer realisiert werden, 100 Pa nicht unterschreiten und zusätzlich diese nur statisch (siehe 7.1) eingestellt werden. Unabhängig vom Druck dürfen die Merkmale b) bis d) unberücksichtigt bleiben, wenn die Drücke nur statisch eingestellt werden.
a) Das Volumen der Kalibrierkammer muss zwanzig Mal groBer als die Summe aller Volumen der angeschlossenen Vakuummeter, einschlieBlich der zugehärigen Rohr- und Verbindungsstücke, sein (beispielsweise zählt em Rohrbogen zum Messkopf als Teil der zusätzlichen Volumina).
b) Die Form der Kalibrierkammer (siehe Bud 1) muss in mindestens einer Achse Zylindersymmetrie besitzen. Eine Kugel wird als Idealform angesehen, jedoch sind zwei gleiche Kugelsegmente, aneinander angeflanscht, oder Zylinder gleichfalls möglich. Wenn em Zylinder verwendet wird, muss dessen Gesamtlänge zwischen em und zwei Durchmessern liegen. Für die Endflächen werden Klöpperböden empfohlen.
C) Die Querschnittsmitten des Pumpauslasses und des Gaseinlasses (wenn anwendbar, s.u.) müssen sich auf der gleichen zylindrischen Symmetrieachse der Kalibrierkammer befinden. Der Gaseinlass darf auch zwischen Pumpauslass und Pumpsystem (siehe 6.3) liegen. In diesem Fall muss der Gaseinlass nicht auf der Symmetrieachse liegen.
d) Alle Eintrittsflächen und ihre zugehörigen Flansche, an die die UUCs und das Bezugsnormal montiert werden, müssen sich auf einer gemeinsamen Aquatorialebene befinden, welche senkrecht auf der zylindrischen Symmetrieachse steht, auf der der Pumpauslass liegt.DIN ISO 3567 pdf download.